半導體電子束光刻、量檢測設(shè)備供應(yīng)商匯總（2025）

電子束（EB）的波長遠小于光線，所以將其應(yīng)用在光刻、量檢測領(lǐng)域相較于傳統(tǒng)光學方法能夠明顯提升分辨率。但是由于其速度緩慢、生產(chǎn)效率低下，導致其在半導體量產(chǎn)環(huán)節(jié)的應(yīng)用受限但是隨著晶體管密度增加、半導體圖形線寬越來越小，電子束工具的應(yīng)用在未來會越來越多然而由于其技術(shù)門檻高且市場空間相對較小，目前這個領(lǐng)域的供應(yīng)商也相對不多。國內(nèi)的廠商數(shù)量更是稀少最近，很多一級市場的投資人也開始對這個領(lǐng)域感興趣了。和他們交流以后，我決定專門做一版供應(yīng)商數(shù)據(jù)，

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