RFID應用在半導體電子貨架上的優(yōu)勢與挑戰(zhàn)

江蘇某半導體電子貨架現(xiàn)場：

（1）每個晶圓盒的全生命周期數(shù)據(jù)（如蝕刻周期、清洗次數(shù)）需要通過RFID標簽實時記錄。

（2）當FOUP被錯誤放置（如CMP后晶圓進入沉積區(qū)），系統(tǒng)立即觸發(fā)聲光報警，并鎖定貨架操作權限。

晨控提供的解決方案：

（1）在半導體電子貨架上安裝RFID讀寫器，當晶圓盒放置在貨架上時，讀寫器通過紅外線感應觸發(fā)天線讀取標簽，收集信息并在前端顯示屏實時顯示產(chǎn)品種類。晶圓盒被移除時也能及時顯示，實現(xiàn)了庫存信息的實時更新。這一功能使得庫存管理人員無需人工逐一掃描，即可快速掌握貨架上晶圓盒的數(shù)量和種類，大大縮短了盤點時間，提高了庫存數(shù)據(jù)的準確性和及時性。

（2）在晶圓盒上安裝RFID標簽，記錄生產(chǎn)過程和檢測結果。一旦出現(xiàn)質(zhì)量問題，可快速追溯到具體批次和生產(chǎn)環(huán)節(jié)，為質(zhì)量改進提供依據(jù)。通過RFID系統(tǒng)，半導體企業(yè)能夠建立完整的晶圓質(zhì)量追溯體系，從原材料采購、生產(chǎn)加工到成品出廠，每一個環(huán)節(jié)的信息都被準確記錄在標簽中。當出現(xiàn)質(zhì)量問題時，企業(yè)可以迅速定位問題源頭，采取相應的措施進行整改，有效降低質(zhì)量風險，提高產(chǎn)品質(zhì)量和客戶滿意度。

應用產(chǎn)品

晨控CK-S610系列產(chǎn)品特點：

l高集成度：集天線，放?器，控制器于?體的3合1型低頻讀寫器。

l豐富的接口和協(xié)議：RS232、RS485，支持工業(yè)協(xié)議Modbus?RTU

l高防護等級：防護等級達到IP67，具有防水、防腐蝕、防干擾等特點，能夠適應惡劣的工業(yè)生產(chǎn)環(huán)境。

l標準協(xié)議：讀卡器工作頻率 134.2kHz，HDX 工作模式，支持ISO11784/85射頻標準標簽。