芯耀
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知識星球（星球名：芯片制造與封測技術社區(qū)，點擊加入）里的學員問：明場檢測與暗場檢測原理上有什么區(qū)別？
如上圖，?明場檢測（Bright-field Inspection）
工作原理：
光線從近乎垂直照射到樣品表面。
如果表面平整、無缺陷，光線會直接反射回鏡頭，被攝像機接收。
檢測系統(tǒng)通過反射強度差異識別圖案或缺陷。
暗場檢測（Dark-field Inspection）
工作原理：
光線從側(cè)向以斜角照射樣品表面（圖中的紅色虛線）。
正常表面無法將光反射進鏡頭，因此背景為黑（暗）。
只有當表面有凹凸、顆粒、刮痕等缺陷時，光會散射入鏡頭被檢測到。
如需明暗場檢測資料，請加Tom微，并拉進技術群，防失聯(lián)：
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