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電鍍機(jī)的陽極是什么材質(zhì)?

06/04 14:38
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知識星球(星球名:芯片制造與封測技術(shù)社區(qū),點(diǎn)擊加入)里的學(xué)員問:電鍍的陽極有什么講究?什么是可溶性陽極和非可溶性陽極?什么是可溶性陽極與非可溶性陽極?

可溶性陽極陽極本身就是被電鍍的金屬材料,在電鍍過程中會發(fā)生氧化反應(yīng)而溶解,為電解液持續(xù)補(bǔ)充金屬離子。

電流通過后:

陰極晶圓)發(fā)生金屬離子還原 → 金屬沉積

陽極發(fā)生金屬氧化反應(yīng) → 金屬原子進(jìn)入電解液成為離子

不可溶性陽極陽極采用不參與電化學(xué)反應(yīng)的惰性材料,僅起導(dǎo)電作用。金屬離子完全來自電鍍液中預(yù)添加的金屬鹽。工作原理

陰極:金屬離子還原沉積

陽極:水或其他離子發(fā)生氧化(如放出氧氣),陽極不溶解

陽極的材質(zhì)有哪些?可溶性陽極:

電鍍類型 常用陽極材質(zhì)
銅電鍍 磷銅陽極(Cu-P),含0.04%~0.08%磷,可防止陽極泥生成,提高穩(wěn)定性
鎳電鍍 電解鎳板或球狀鎳(高純度Ni)
金電鍍 金板或金絲,較少使用,成本高
錫電鍍 錫條或Sn合金

不可溶性陽極:

材料常見選擇 適用場景
鉑涂層鈦網(wǎng)(Pt/Ti) 貴金屬電鍍(如金、銠)
銥鉭涂層鈦(Ir-Ta/Ti) 穩(wěn)定性高,適用于酸性鍍液
石墨 鎳、鋅等電鍍中有時也會使用,成本低
不銹鋼 某些實(shí)驗(yàn)室電鍍工藝或特殊研究用途

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